Fém Rotary Target
A porlasztó célpont (katód) és az anód között ortogonális mágneses és elektromos mezőket alkalmaznak.És töltse be a szükséges inert gázt (általában Ar gázt) a nagyvákuumkamrába.Az elektromos tér hatására az Ar-gáz pozitív ionokká és elektronokká ionizálódik.A céltárgyra bizonyos negatív nagyfeszültség kerül, a céltárgy által kibocsátott elektronokra hat a mágneses tér, nő a munkagáz ionizációs valószínűsége, a katód közelében nagy sűrűségű plazma képződik, és az Ar ionokra hat. a Lorentz-erő által.Ezután gyorsítson, hogy a célfelületre repüljön, és nagy sebességgel bombázza a célfelületet úgy, hogy a célponton lévő porlasztott atomok az impulzuskonverzió elvét követjék, a célfelületről a hordozóra repüljenek, és nagy kinetikus energiájú filmet rakjanak le.
A célanyag felhasználási arányának további javítása érdekében nagyobb felhasználási hatékonyságú forgó katódot terveznek, a porlasztásos bevonathoz pedig cső alakú célanyagot használnak.A porlasztó berendezések fejlesztése megköveteli, hogy a céltárgyat lapos formáról cső alakúra kell cserélni, és a cső alakú forgó céltárgy kihasználtsága akár 70% is lehet, ami nagyrészt megoldja a lapos céltárgy alacsony kihasználtságának problémáját.
A termékek neve | Fém forgó céltábla |
Anyag | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Forró eladó méret | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Az ügyfelek egyedi igényei szerint is feldolgozható |
MOQ | 3 darab |
Csomag | Rétegelt fa tok |
Alkalmazás
A porlasztásos bevonat a fizikai gőz bevonat új típusa.A párologtató bevonatolási módszerhez képest nyilvánvaló előnyei vannak
sok szempontból.A fémporlasztó célpontokat számos területen alkalmazták.A forgó céltárgy fő alkalmazása.
■Napelemek
■Építészeti üveg
■Auto üveg
■Félvezető
■Síkképernyős TV stb
Rendelési információ
A megkereséseknek és megrendeléseknek a következő információkat kell tartalmazniuk:
☑Cél specifikáció ID × OD × L (mm).
☑Megkövetelt darabszám.
☑További speciális igényekért forduljon hozzánk.