Az elektronsugaras elpárologtatási módszer egyfajta vákuumpárologtatási bevonat, amely elektronsugarak segítségével közvetlenül felmelegíti a párolgó anyagot vákuum alatt, elpárologtatja a párologtató anyagot és szállítja a szubsztrátumra, majd a hordozón kondenzálva vékony filmet képez. Az elektronsugaras fűtőberendezésben a felmelegített anyagot egy vízhűtéses tégelybe helyezik, amely elkerülheti a párolgó anyag és a tégely fala közötti reakciót, és befolyásolhatja a film minőségét. Több tégely is elhelyezhető a készülékben a különböző anyagok egyidejű vagy külön párologtatása és lerakódása érdekében. Elektronsugaras párologtatással bármilyen anyag elpárologtatható.
Az elektronsugaras párolgás elpárologtathatja a magas olvadáspontú anyagokat. Az általános ellenállásos fűtési párolgáshoz képest nagyobb hőhatékonysággal, nagyobb sugár áramsűrűséggel és gyorsabb párolgási sebességgel rendelkezik. Filmek és filmek különféle optikai anyagokból, például vezetőképes üvegből.
Az elektronsugaras párolgás jellemzője, hogy nem vagy csak ritkán fedi be a céltárgy háromdimenziós szerkezetének két oldalát, és általában csak a célfelületen rakódik le. Ez a különbség az elektronsugár párolgás és a porlasztás között.
Az elektronsugaras elpárologtatást általánosan használják a félvezetőkutatás és az ipar területén. A felgyorsított elektronenergiát az anyagi cél eléréséhez használják fel, ami az anyagi cél elpárolgását és felemelkedését okozza. Végül letétbe helyezték a célponton.
Feladás időpontja: 2022. december 02