Hogyan működik a Magnetron Sputtering?
A magnetronos porlasztás egy fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) módszer, a vákuumleválasztási eljárások egy osztálya vékony filmek és bevonatok előállítására.
A "magnetronporlasztás" elnevezés a mágneses mezők használatából ered, amelyek a töltött ionrészecskék viselkedését szabályozzák a magnetronos porlasztásos leválasztási folyamatban.Az eljáráshoz nagy vákuumkamra szükséges, hogy alacsony nyomású környezetet hozzon létre a porlasztáshoz.A plazmát tartalmazó gáz, jellemzően argongáz lép be először a kamrába.
A katód és az anód között nagy negatív feszültséget kapcsolunk az inert gáz ionizációjának megindítására.A plazmából származó pozitív argonionok ütköznek a negatív töltésű célanyaggal.A nagy energiájú részecskék minden egyes ütközése azt okozhatja, hogy a célfelületről atomok kilökődnek a vákuumkörnyezetbe, és a szubsztrát felületére szóródhatnak.
Az erős mágneses tér nagy plazmasűrűséget hoz létre azáltal, hogy az elektronokat a célfelület közelébe zárja, növeli a lerakódás sebességét, és megakadályozza a szubsztrátum ionbombázásból eredő károsodását.A legtöbb anyag célpontként szolgálhat a porlasztási folyamatban, mivel a magnetronos porlasztórendszer nem igényli a forrásanyag megolvasztását vagy elpárologtatását.
Termékparaméterek
A termékek neve | Tiszta titán célpont |
Fokozat | Gr1 |
Tisztaság | Több 99,7% |
Sűrűség | 4,5g/cm3 |
MOQ | 5 darab |
Forró eladó méret | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Alkalmazás | Bevonat PVD gépekhez |
Készlet mérete | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Egyéb elérhető célok | Molibdén (Mo) Chrome (Cr) TiAl réz (Cu) Cirkónium (Zr) |
Alkalmazás
■Integrált áramkörök bevonása.
■Lapos panelek és egyéb alkatrészek felületi paneles kijelzői.
■Dekoráció és üvegbevonat stb.
Milyen termékeket tudunk előállítani
■Nagy tisztaságú titán lapos célpont (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Szabványos menetes csatlakozás az egyszerű telepítés érdekében (M90, M80)
■Független gyártás, megfizethető ár (ellenőrzött minőség)
Rendelési információ
A megkereséseknek és megrendeléseknek a következő információkat kell tartalmazniuk:
■ Átmérő, magasság (például Φ100 * 40 mm).
■ Menetméret (például M90 * 2 mm).
■ Mennyiség.
■ Tisztasági igény.